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扫描电子显微镜

所属栏目:泛半导体

发布时间:2025-06-04

关注度:175次

简单介绍:扫描电子显微镜(SEM)提供0.8nm超高分辨率成像,支持场发射(FESEM)、钨灯丝及FIB-SEM多系列,涵盖材料科学、半导体失效分析和生命科学研究。配备智能软件(SmartSEM)及五象限BSE探测器,实现自动化样品分析与高精度成分对比。

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扫描电子显微镜(SEM)使用聚焦电子束扫描样品,获得带有样品形貌和成分信息的图像。


CSEM(采用热电子源的传统SEM)和FE-SEM(带场发射电子源的场发射SEM)提供高分辨率成像和出色的材料衬度。


    ● 高分辨率表面敏感信息和材料衬度。

    ● 广泛应用于纳米技术、材料研究、生命科学、半导体、原材料和工业领域。


FE-SEM满足亚纳米成像、分析和样品灵活性的高要求

GeminiSEM可助您轻松实现亚纳米级分辨率的成像。出色的成像和分析技术更使FE-SEM(场发射扫描电子显微镜)如虎添翼。我们采用创新的电子光学系统和全新样品仓设计,不仅操作更加简便,用途更加灵活多样,还可为您带来更高的图像质量。无需水浸物镜即可拍摄低于1kv的亚纳米级图像。探索Gemini电子光学系统的三种设计:

  • 分析测试平台的理想选择--GeminiSEM 360

  • 实现高效分析--GeminisEM 460

  • 表面成像的新标准--GeminiSEM 560

GeminiSEM


拥有高品质成像和高级显微分析功能的FE-SEM

siqma系列产品集场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)技术与良好的用户体验于一体,可轻松实现成像和分析程序,提高工作效率。您可以将其用于新材料和颗粒的质量监测,或用于生物和地质样品的研究。在高分辨率成像方面精益求精--采用低电压,在1kV或更低电压下获得更佳的分辨率和衬度。它出色的EDS几何学设计可执行高级显微分析,以两倍的速度和更高的精度获取分析数据。

使用Sigma系列,畅游高端纳米分析世界。

  • sigma 360是一款直观的成像和分析FE-SEM,是分析测试平台的理想之选。

  • Sigma 560采用先进的EDS几何学设计,可提供高通量分析,实现自动原位实验。

Sigma系列


MultiSEM超高速扫描电子显微镜

充分运用多达91条并行电子束的采集速度,用纳米分辨率对厘米级样品进行成像。这款独特的扫描电子显微镜设计用于全天候连续、可靠的运行。只需简单设置高通量数据采集工作流,MultiSEM便能自动完成高衬度图像采集。

  • 成像速度极快

  • 自动大区域图像采集

  • 宏观信息下的纳米级细节

  • 低噪点高衬度图像

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EVO系列操作直观的模块化扫描电子显微镜平台,适用于日常检测与研究应用

EVO系列结合高性能扫描电子显微镜,为显微镜专家和新用户带来直观且易操作的使用体验。凭借丰富的选件,无论是在生命科学、材料科学,或是在日常工业质量保证和失效分析领域,EVO均可根据您的需求量身定制。

用于显微镜中心或工业质量保证实验室的多功能解决方案

获取真实样品的出色图像

使用六硼化镧(LaB.)发射体实现高图像质量对非导电和未涂层样品进行出色的成像和分析

工作流自动化和数据完整性

EVO系列

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