型号：ET200A

ET200A基于Windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能硅片、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200A 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。 ET200A 配备了各种型号探针，提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头，彩色CCD 原位采集设计，可直接观察到探针工作时的状态，更方便准确的定位测试区域。

产品概述：

● ET200A台阶仪适用于二次元表面纳米等级段差台阶测定、粗糙度测定。

● ET200A台阶仪拥有高精度．高分解能，搭配一体花岗岩结构，安定的测量过程及微小的测定力可对应软质样品表面。

● 该型号台阶仪采用直动式检出器，重现性高。

台阶仪ET200A产品参数

型号：ET4000系列

台阶仪可以应用在半导体，光伏/太阳能，光电子，化合物半导体，OLED，生物医药，PCB封装等领域的薄膜厚度，台阶仪测量薄膜厚度,台阶高度，粗糙度（Ra,Rq,Rmax...），划痕深度，磨损深度，薄膜应力（曲定量率半径法）等定量测量方面。

产品概述：

● 高精度．安定性．机能性卓越适合于FPD基板·晶圆硬盘等的微细形状、段差、粗度测定的机型。

● 是多机能的全自动微细形状测定机，针对用途及样品尺寸有多种机型可供选择。

● ET4000A/ ET4000AK一可实现2D/3D表面形状测量。

● ET4000M一高性能的泛用微细形状测定机。

● ET4000L一对应大型工件的全自动微细形状测定机。

● ET4300一适合12"样品测量。

台阶仪ET4000系列产品参数

型号：ET10000

产品概述：

● 对应大面积样品段差测定的全自动机型。

● 机台尺寸可根据样品/工件尺寸订制。

● 针对生产线全自动大型工件开发，可搭配机械手臂自动进退样品。

台阶仪ET10000产品参数

型号：NT1520

产品概述：

● 测量膜厚、段差，建立配方后可自动测量。

● 直动式检出器，更高精度，高再现性。

● X、Y方向两轴测量，工件放置不受限。

● 可搭载机械手臂，实现在线全自动测量。

台阶仪NT1520产品参数