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膜厚仪

所属栏目:泛半导体

发布时间:2025-06-17

关注度:272次

简单介绍:膜厚仪通过1nm精度与1秒高速测量,为半导体、光伏及显示行业提供非接触式薄膜检测方案。支持1nm-10mm量程,可测折射率/粗糙度,模块化设计适配在线/离线场景。

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F20 系列

一键搞定的薄膜厚度和折射率台式测量系统。 测量 1nm 到 3mm 的单层薄膜或多层薄膜堆。只需按下一个按钮,您在不到一秒钟的同时测量厚度和折射率。设置同样简单, 只需插上设备到您运行Windows™系统计算机的USB端口, 并连接样品平台 , F20已在世界各地有成千上万的应用被使用. 事实上,我们每天从我们的客户学习更多的应用.



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F3-sX 系列

F3-sX 系列能测量半导体与介电层薄膜厚度到3毫米,而这种较厚的薄膜与较薄的薄膜相比往往粗糙且均匀度较为不佳

波长选配

F3-sX系列使用近红外光来测量薄膜厚度,即使有许多肉眼看来不透光(例如半导体)。 F3-s980 是波长为980奈米的版本,是为了针对成本敏锐的应用而设计,F3-s1310是针对重掺杂硅片的最佳化设计,F3-s1550则是为了最厚的薄膜设计。

附件

附件包含自动化测绘平台,一个影像镜头可看到量测点的位置以及可选配可见光波长的功能使厚度测量能力最薄至15奈米。


规格参数


型号厚度范围波长范围
F2015nm - 70μm380 - 1050nm
F20-EXR15nm - 250μm380 - 1700nm
F20-NIR100nm - 250μm950 - 1700nm
F20-UV1nm - 40μm190 - 1100nm
F20-UVX1nm - 250μm190 - 1700nm
F20-XT0.2μm - 450μm1440 - 1690nm
F3-sX 系列10μm - 3mm960 - 1580nm


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