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光谱椭偏仪
所属栏目：泛半导体
发布时间：2025-06-17
关注度：308次
简单介绍：光谱椭偏仪通过1秒高速测量与±0.1nm精度，为光伏和半导体行业提供薄膜厚度、折射率及均匀性检测方案。支持193-1690nm宽光谱范围，集成自动化Mapping与工艺数据追溯功能。
咨询电话：18123690305
光谱椭偏具有：单点测试速度约1 秒、笛卡尔/极坐标 2 种Mapping模式、RC/RC2/RA 3 种偏振结构、双光纤等性能。
产品特点
简单易用：一键完成厚度\折射率，NCS\Muller 粗糙度等测试
高速测试：标准单点测试速度约1秒，优化可至0.3秒/点
应用拓展：可拓展在线化、全自动化、远程化
规格参数
| 基本参数选型表 | ||||
|---|---|---|---|---|
| 类别 | 参数 | 标识 | 补充标识 | 说明 |
| 光谱范围 | 350 - 1050nm | C | - | 可见 |
| 245 - 1050nm | UC | - | 紫外-可见 | |
| 193 - 1050nm | DUC | - | 极紫外-可见 | |
| 245 - 1690nm | UN | - | 紫外-可见-近红外 | |
| 光学补偿器 | RC | - | - | 单补偿器 |
| RC2 | - | C2 | 双补偿器 | |
| 多点 | X-Y (笛卡尔坐标) | - | - | 大行程至230mm |
| X-R (极坐标) | - | - | 大直径至300mm | |
